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在半导体制造（如EUV）、电子显微镜、精密仪器、航天电子、光学仪器等领域，其精密程度容易受到来自设备内部如电机、风扇，或外部如交通、人员走动的影响，即使轻微的振动也可能影响产品的性能。
服务范围
1. 光刻区、量测区、关键工艺设备安装区域的环境振动评估与验收。设备安装后的振动验收测试；
2. 高精度传感器（MEMS惯性器件）、晶体振荡器、硬盘驱动器、激光设备、光学平台等的振动敏感度测试、可靠性验证。
3. 服务器机架、硬盘存储阵列区域的振动评估
4. 电子显微镜实验室、精密计量实验室、光学实验室的振动评估与隔振设计验证
5. 定位引起设备性能下降或工艺问题的振动源头
6. 测试主动隔振台、被动气浮隔振台等隔振装置的效果
参考的标准
ISO: ISO 1940 (平衡), ISO 10816 (机器振动), ISO 20816 (特定机器振动), ISO 2631 (人体暴露)。
IEC: 各类电子设备的环境试验标准中可能包含振动要求。
SEMI: 半导体行业的关键标准！
SEMI S2/S8: 设备安全与环境要求，包含振动限制。
SEMI S22: 最重要的微振动标准之一。定义了晶圆厂内设备安装区域楼板振动的速度谱密度（VSD） 或加速度均方根值（Grms） 的验收标准，按频率范围划分了不同等级（如VC-A, VC-B, ..., VC-G, VC-I）。
测试案例
基因光学设备振动测试
半导体设备测试
光刻机振动测试
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