由于电子工业发展迅速,工艺生产及科研技术进步较快,工艺设备更新迅速,对精密设备及仪器的容许振动限值要求越来越严格。同时,周围环境振动(打夯、爆破、轨道列车等)变化及设备更新所引起的防微振需求。
精密仪器与设备本身是一个多自由度的复杂弹性系统,自身具有多个固有振动频率及阻尼比,当外界振动频率与某个固有振动频率一致时,系统产生共振,会影响其正常工作。频域采用1/3倍频程中心频率的幅值表示。普通的精密仪器与设备对于4Hz以下频段的振动不敏感,不考虑其振动影响;对于4Hz~8Hz频段,则反映为对振动加速度敏感,因此采用振动加速度作为控制指标。
1、可参考的标准:
GB 50868-2013《建筑工程容许振动标准》
GB 51076 -2015电子工业防微振工程技术规范
VC曲线
2、测试和评价
GB 50868-2013《建筑工程容许振动标准》对精密加工与检测设备、计量与检测仪器、光学加工及检测设备、显微镜均做出了容许振动限值的规定:
VC曲线标准采用一组 1/3 倍频带速度谱(one-third octave band velocity spectra),以及国际标准组织(ISO)关于振动对建筑物中人的影响判断准则,适用于在垂直和两个水平方向上测量的振动。目前一般认为:VC-M是可测得的最低值,现今还无法在此标准以下进行准确的振动测量,因为现今最敏感的传感器也因为传感器的内部噪声而降低了灵敏度,无法达到VC-M 的测量基准。