电容式零频MEMS芯片
三轴通孔设计,完整系列,多种量程可选
低功耗,低噪声,高分辨率
钛合金壳体
宽频带测量范围
MEMS三轴立方型加速度传感器 |
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型号 |
A03YD1/ |
A05YD1/ |
A06YD1/ |
A07YD1/ |
A09YD1/ |
A10YD1/ |
A11YD1/ |
A03YE3 |
A05YE3 |
A06YE3 |
A07YE3 |
A09YE3 |
A10YE3 |
A11YE3 |
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动态特性 |
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量程(g peak) |
±200 |
±100 |
±50 |
±30 |
±10 |
±5 |
±2 |
灵敏度(±5%,mV/g) |
20 |
40 |
80 |
135 |
400 |
800 |
2000 |
频率范围 ±5%(Hz) |
0-2000 |
0-1500 |
0-1500 |
0-1500 |
0-1000 |
0-700 |
0-500 |
幅值线性(%) |
0.1 |
0.1 |
0.1 |
0.1 |
0.1 |
0.1 |
0.1 |
谐振频率(kHz) |
11 |
8.5 |
5.8 |
4.2 |
3.2 |
1.9 |
1.2 |
输出噪声 (μg√Hz) |
678 |
339 |
169 |
101 |
34 |
17 |
7 |
安装绝缘电阻(Ω) |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
供电电源(VDC) |
6~30 |
6~30 |
6~30 |
6~30 |
6~30 |
6~30 |
6~30 |
极限冲击值 (gpeak,0.1ms) |
5000 |
5000 |
5000 |
5000 |
5000 |
2000 |
2000 |
工作温度(℃) |
-55~125 |
-55~125 |
-55~125 |
-55~125 |
-55~125 |
-55~125 |
-55~125 |
输出接头形式 |
1/4-28四芯输出或5/16-32九芯输出 |
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输出方式 |
单端/差分 |
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安装螺钉 |
M5 |
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重量(g) |
30 |
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